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中山超精科技有限公司

オープンエア浮上運動台


APOSシリーズ

APOSシリーズは歯間のないリニアモータで駆動され、その中で多孔質媒体は均一なガス膜を発生して運動台の摩擦がなく、振動がない滑らかな移動を実現した。オープンなエア浮上構造を採用しているため、一般的なエア浮上構造よりもコンパクトで、システムには高精度なスケールが搭載されており、そのトラッキング誤差は機械ガイド構造よりも質が向上している位置決め精度と繰り返し位置決め精度が著しく改善された。

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