APOSシリーズ
APOSシリーズは歯間のないリニアモータで駆動され、その中で多孔質媒体は均一なガス膜を発生して運動台の摩擦がなく、振動がない滑らかな移動を実現した。オープンなエア浮上構造を採用しているため、一般的なエア浮上構造よりもコンパクトで、システムには高精度なスケールが搭載されており、そのトラッキング誤差は機械ガイド構造よりも質が向上している位置決め精度と繰り返し位置決め精度が著しく改善された。
製品の特徴:
非接触オープンエアフロート構造
ナノレベルの位置決め精度
高いダイナミック性能 (カットオフ周波数が100hzを超える)
高い応答速度
高剛性設計
ポーラス誘電体エアベアリング
高柔ケーブル管理
解像度1nm、繰り返し位置決め精度80nm、位置決め精度 ± 100nm
カスタマイズ可能 (カスタマイズ可能なセラミック構造)
キーワード: 光学
分類:
オープンエア浮上運動台
メールアドレス:
製品の説明
製品寸法平面図
機械仕様 |
APOS-025 |
APOS-050 |
APOS-100 |
ストローク |
25 mm |
50 mm |
100 mm |
絶対位置決め精度 |
いいえ。100 nm |
いいえ。150 nm |
いいえ。200 nm |
繰り返し位置決め精度 (単方向) |
いいえ50 nm |
ランプ80 nm |
|
繰り返し位置決め精度 (双方向) |
ランプ80 nm |
いいえ。100 nm |
|
解像度 |
1 nm |
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直線度 |
± 0.25 um |
|
± 0.4 um |
平面度 |
± 0.25 um |
|
± 0.4 um |
振り子 |
± 0.5 arcsec |
± 0.75 arcsec |
± 1 arcsec |
ピッチ |
± 0.5 arcsec |
± 0.75 arcsec |
± 1 arcsec |
スクロール |
± 0.5 arcsec |
± 0.75 arcsec |
± 1 arcsec |
最大速度 |
300ミリメートル/秒 |
||
最大加速 (無負荷) |
1 g |
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最小ステップ量 |
1 nm |
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負荷能力 (レベル) |
15 kg |
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一部移動重量 |
1.9 kg |
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プラットフォーム品質 |
4.5 kg |
5.5 kg |
6.4 kg |
材料 |
陽極メッキアルミニウム |
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平均寿命 |
15000h |
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備考:
- デフォルトのテストポイントの位置はテーブルの上の25mmで、一軸指標、多軸システムの性能指標は実際の荷重と作業ポイントの位置と関係がある
- より高い需要に対して、ハイドハンスケールとリニアアンプを搭載する必要がある
- 無負荷で、相応の電力の線形増幅器を配置する必要があります。
- ペイロード仕様は、ペイロードが軸を中心としていると仮定しています
- 規範の長期的な実現と再現性を確保するためには、環境温度を24時間ごとに1 ℃ の変化範囲に抑えなければならない。
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なし
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