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中山超精科技有限公司
エア浮上垂直運動台
APL210Zシリーズはバックラッシュのないリニアモータで駆動され、その中で多孔質媒体は均一なガス膜を発生して運動台の摩擦がなく、振動がない滑らかな移動を実現した。非接触構造で、システムに高精度なスケールが搭載されているため、システムの追従誤差は機械ガイド構造に比べて質が向上し、位置決め精度と繰り返し位置決め精度が著しく改善された
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