超精密プロファイル測定器

本設備は光学精密輪郭測定機で、精密交差ボール変位台と高精度エアフローティングガイドを採用して、精密輪郭スキャンを実現し、精密偏向台に合わせて非球面の偏心と傾斜調整を実現できる。

キーワード: 光学

キーワード: レンズ

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製品の説明

製品の特徴

自己研究の低ロードヘッドANS
測定精度を保証した上で、接触圧力は極めて小さく、製品表面の完全性を保証する。
オートフォーカス追従アルゴリズム
高精度エアフロートz軸を採用し、オートフォーカスアルゴリズムと合わせて、測定焦点がリアルタイムで面形状の変化に従うことができる。
効率的な検索アルゴリズム
ソフトウェアの内部には2種類の求心方式があり、治具設計が合理的な場合、一度に放置し、自動的に求心測定の機能を実現できる。
簡単な校正機能
ソフトウェアで設備を簡単に校正することができます。

製品パラメータ

製品シリーズ		精密プロファイル測定器	超精密プロファイル測定器
製品型番		NP-200A	UNP-60A	UNP-150A	UNP-300C	UNP-300B
測定方式		接触式	接触式	接触式	接触式	非接触式
機器タイプ		XYZ			XZC	XZBC
測定原理		ナノスタイラス	高精度ナノスタイラス			デュアルバンドレーザ干渉
測定解像度		2nm	0.31nm	0.31nm	0.31nm	0.15nm
測定力		0.1mN	0.05mN	0.05mN	0.05mN	接触力なし
変位軸の移動範囲		20mm * 200mm * 50mm	60mm * 60mm * 40	150mm * 150mm * 50mm	200mm * 100mm	200mm * 100mm
測定精度	> 45 °	0.4um	0.2um	0.2um	0.2um	0.15um
	≥ 30 °	0.2um	0.15um	0.15um	0.15um
	≥ 30 °	0.15um	0.1um	0.1um	0.1um
最大測定速度		3ミリメートル/秒				10ミリメートル/秒
操作エリア		240mm * 240mm	120mm * 120mm	240mm * 240mm	400mm * 400mm	400mm * 400mm
測定範囲		口径 ≦ 200mm	口径 ≦ 60mm	口径 ≦ 150mm	口径 ≦ 300mm	口径 ≦ 300mm
製品サイズ		860mm * 1200mm * 1500mm	860mm * 880mm * 1500mm	860mm * 1200mm * 1500mm	研究しています	研究しています
重量		1200kg	1500kg	2250kg	研究しています	研究しています
圧縮空気要求		0.6Mpa、50L/min
電源要件		220VAC、50/60Hz、 <1500W