APRHシリーズ
APRHシリーズは気孔材料をエア浮上支持として採用し、高い剛性と大きな負荷の能力を実現でき、優れた軸方向とラジアル誤差だけでなく、優れた傾斜誤差運動を持っている。これによって発生した性能は他の回転空気軸受テーブルと主軸より明らかに優れており、優れた平面性能を必要とする応用に非常に有利である。
製品の特徴:
低速摩擦なし
高剛性設計
高柔ケーブル管理
ナノレベルの位置決め精度
カスタマイズ可能 (複数のストロークをカスタマイズ可能)
逆移動に機械的な転がり要素の鼓動がない現象
熱安定性が高く、アクティブオイル循環と冷却設計が直接放熱します。
解像度1nm、繰り返し位置決め精度 ± 200nm、位置決め精度 ± 350nm
キーワード: 光学
分類:
エア浮上ストレート駆動ターンテーブル
メールアドレス:
製品の説明
製品寸法平面図
機械仕様 |
APRH100 |
APRH150 |
APRH200 |
カウンターサイズ |
100 mm |
150 mm |
200 mm |
グレーティングライン |
9000 |
16384 |
23600 |
コーナー精度 |
± 15 arcsec |
± 12 arcsec |
± 8 arcsec |
一方の繰り返し精度 |
± 5 arcsec |
± 4 arcsec |
|
双方向繰り返し精度 |
± 7 arcsec |
± 6 arcsec |
|
最大速度 |
800 rpm |
||
最大加速 (無負荷) |
410ホイール/s ² |
250ホイール/s ² |
185ホイール/s ² |
定格トルク (無負荷) |
0.4 n・m |
1.35 n・m |
2.5 n・m |
最大トルク (無負荷) |
1.4 n・m |
5.4 n・m |
10 n・m |
解像度 |
0.01 arcsec |
||
ラジアル鼓動 |
0.3 um |
0.5 um |
0.7 um |
軸方向の鼓動 |
1つ |
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最小ステップ量 |
0.2 arcsec |
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負荷能力 (レベル) |
10 kg |
20 kg |
35 kg |
負荷能力(垂直) |
3 kg |
6 kg |
10 kg |
プラットフォーム品質 |
4.4 kg |
7.5 kg |
13.4 kg |
材料 |
陽極メッキアルミニウム |
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平均寿命 |
25000h |
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備考:
- デフォルトのテストポイントの位置はテーブルの上の25mmで、一軸指標、多軸システムの性能指標は実際の荷重と作業ポイントの位置と関係がある
- より高い需要に対して、ハイドハンスケールとリニアアンプを搭載する必要がある
- 無負荷で、相応の電力の線形増幅器を配置する必要があります。
- ペイロード仕様は、ペイロードが軸を中心としていると仮定しています
- 規範の長期的な実現と再現性を確保するためには、環境温度を24時間ごとに1 ℃ の変化範囲に抑えなければならない。
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なし
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