Apr1シリーズ
Apr1シリーズは、エア浮上のサポートとして多孔材料を採用しており、大きなサイズの空気軸受表面を持っており、高い剛性と大きな負荷能力を生み出すことができ、優れた軸方向とラジアル誤差運動を持っているだけでなくまた、優れた傾斜誤差運動もあります。Apr1シリーズ直駆回転プラットフォームの設計は最適化され、プラットフォームの高さを最大限に下げることができ、「積み重ね」に関する誤差を減らすことができる。
製品の特徴:
高い応答速度
機械的接触なし
薄型平面設計
優れた速度安定性を持つダブルスケール読み取りヘッド設計
高トルク出力、フレームレス直接駆動モータ
優れた誤差運動と揺動性能
柔軟な構成オプション (カスタマイズ可能な中空バージョン)
解像度0.01arcsec、繰り返し位置決め精度1.5 arcsec、位置決め精度4 arcsec
キーワード: 光学
分類:
エア浮上ストレート駆動ターンテーブル
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製品の説明
製品寸法平面図
機械仕様 |
APRH200 |
APRH250 |
APRH300 |
カウンターサイズ |
200 mm |
250 mm |
300 mm |
グレーティングライン |
18000 |
36000 |
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コーナー精度 |
± 4 arcsec |
± 2.5 arcsec |
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一方の繰り返し精度 |
± 1.5 arcsec |
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双方向繰り返し精度 |
± 2 arcsec |
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最大速度 |
5 rpm |
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最大加速 (無負荷) |
300ホイール/s ² |
150ホイール/s ² |
85ホイール/s ² |
定格トルク (無負荷) |
1.35 n・m |
4 n・m |
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最大トルク (無負荷) |
5.4 n・m |
16 n・m |
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解像度 |
0.01 arcsec |
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ラジアル鼓動 |
0.2 um |
0.15 um |
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軸方向の鼓動 |
0.4 um |
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最小ステップ量 |
0.08秒角 |
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負荷能力 (レベル) |
15 kg |
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負荷能力(垂直) |
2 kg |
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プラットフォーム品質 |
14.8 kg |
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材料 |
陽極メッキアルミニウム |
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平均寿命 |
30000h |
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備考:
- デフォルトのテストポイントの位置はテーブルの上の25mmで、一軸指標、多軸システムの性能指標は実際の荷重と作業ポイントの位置と関係がある
- より高い需要に対して、ハイドハンスケールとリニアアンプを搭載する必要がある
- 無負荷で、相応の電力の線形増幅器を配置する必要があります。
- ペイロード仕様は、ペイロードが軸を中心としていると仮定しています
- 規範の長期的な実現と再現性を確保するためには、環境温度を24時間ごとに1 ℃ の変化範囲に抑えなければならない。
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