MCHLシリーズ
MCHLシリーズはリニアモータで駆動し、高精度で高剛性でクリープに強いクロスローラーガイドを備えています。MCHLは高ダイナミックと高剛性に最適化されており、高いサーボ帯域幅を実現しながら、使用可能な開口部を最大化し、全体的な高さを最小限に保つことができる。
製品の特徴:
高い応答速度
高柔ケーブル管理
ナノレベルの位置決め精度
高精度蠕動防止クロスローラーガイド
高いダイナミック性能 (カットオフ周波数が100 hzを超える)
柔軟な構成オプション (シングルモータを構成できる形式)
解像度1nm、繰り返し位置決め精度250nm、位置決め精度500nm
キーワード: 光学
分類:
一体型XY中空運動台
メールアドレス:
製品の説明
製品寸法平面図
機械仕様 |
MCHL-150XY |
MCHL-250XY |
MCHL-350XY |
中空サイズ |
180 mm |
270 mm |
330 mm |
ストローク |
120 mm |
350 mm |
|
絶対位置決め精度 |
いいえ。500 nm |
いいえ。650 nm |
いいえ。850 nm |
繰り返し位置決め精度 (単方向) |
いいえ。250 nm |
いいえ。350 nm |
|
繰り返し位置決め精度 (双方向) |
いいえ。350 nm |
||
解像度 |
1 nm |
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直線度 |
± 0.8 um |
± 1 um |
|
平面度 |
± 2.5 um |
± 3.5 um |
|
振り子 |
± 10 arcsec |
± 12 arcsec |
± 15 arcsec |
ピッチ |
± 10 arcsec |
± 12 arcsec |
± 15 arcsec |
スクロール |
± 10 arcsec |
± 12 arcsec |
± 15 arcsec |
正交性 |
± 12 arcsec |
||
最大速度 |
200ミリメートル/秒 |
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最大加速 (無負荷) |
1g |
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最小ステップ量 |
10 nm |
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負荷能力 (レベル) |
20kg |
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部分移動重量(上軸) |
5.8 kg |
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部分移動重量(下軸) |
25.5 kg |
48.5 kg |
80.5 kg |
プラットフォーム品質 |
40.5 kg |
70.4 kg |
112 kg |
材料 |
陽極メッキアルミニウム |
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平均寿命 |
30000h |
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備考:
- デフォルトのテストポイントの位置はテーブルの上の25mmで、一軸指標、多軸システムの性能指標は実際の荷重と作業ポイントの位置と関係がある
- より高い需要に対して、ハイドハンスケールとリニアアンプを搭載する必要がある
- 無負荷で、相応の電力の線形増幅器を配置する必要があります。
- ペイロード仕様は、ペイロードが軸を中心としていると仮定しています
- 規範の長期的な実現と再現性を確保するためには、環境温度を24時間ごとに1 ℃ の変化範囲に抑えなければならない。
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