ARS80シリーズ
ARS80シリーズは小さな穴の絞りをエアフロートの支持として採用しており、大きなサイズのエアベアリング表面を持っており、高い剛性と大きな負荷能力を生み出すことができ、極めて低いラジアル振れと軸方向振れを持っている。ARS80シリーズは精密に計算され、優れた静的精度と動的精度を持っている。
製品の特徴:
高い応答速度
機械的接触なし
優れた速度安定性
優れた誤差運動と揺動性能
高トルク出力、フレームレス直接駆動モータ
設定可能なダブルスケール読数ヘッド設計
水冷設計を採用し、熱安定性を保証します
生きた構成オプション (カスタマイズ可能な中空バージョン)
ラジアル振れが100nm未満、軸方向振れが80nm未満
キーワード: 光学
分類:
エア浮上主軸
メールアドレス:
製品の説明
製品寸法平面図
機械仕様 |
MARH100 |
MARH150 |
カウンターサイズ |
1400 |
|
グレーティングライン |
11840 | |
コーナー精度 |
± 18 arcsec |
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一方の繰り返し精度 |
± 8 arcsec |
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双方向繰り返し精度 |
± 12 arcsec |
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最大速度 |
2000 rpm |
|
冷却方式 |
水冷 |
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治具固定方式 |
真空吸盤 |
|
定格トルク (無負荷) |
1.35 n・m |
|
最大トルク (無負荷) |
5.4 n・m |
|
解像度 |
1秒角 |
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ラジアル鼓動 |
80ワン |
100ワン |
軸方向の鼓動 |
50ワン |
80ワン |
最小ステップ量 |
5秒角 |
5秒角 |
負荷能力 (レベル) |
15 kg |
10 kg |
負荷能力(垂直) |
20 kg |
15 kg |
プラットフォーム品質 |
56 kg |
62 kg |
材料 |
ニッケルメッキ合金 |
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平均寿命 |
15000h |
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備考:
- デフォルトのテストポイントの位置はテーブルの上の25mmで、一軸指標、多軸システムの性能指標は実際の荷重と作業ポイントの位置と関係がある
- より高い需要に対して、ハイドハンスケールとリニアアンプを搭載する必要がある
- 無負荷で、相応の電力の線形増幅器を配置する必要があります。
- ペイロード仕様は、ペイロードが軸を中心としていると仮定しています
- 規範の長期的な実現と再現性を確保するためには、環境温度を24時間ごとに1 ℃ の変化範囲に抑えなければならない。
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