HPL410シリーズ
HPL410シリーズはギャップのないリニアモータで駆動され、液体静圧技術を採用してガイドレールの精密な移動を実現し、高減衰、高剛性、高低速横移動を実現できる特徴がある高速往復振動運動を実現する最適な案で、低速時に摩擦がなく、滑りがなく、超高位置決め精度を実現できる。
製品の特徴:
低速摩擦なし
高剛性設計
高柔ケーブル管理
ナノレベルの位置決め精度
カスタマイズ可能 (複数のストロークをカスタマイズ可能)
逆移動に機械的な転がり要素の鼓動がない現象
熱安定性が高く、アクティブオイル循環と冷却設計が直接放熱します。
解像度1nm、繰り返し位置決め精度 ± 200nm、位置決め精度 ± 350nm
キーワード: 光学
分類:
液体静圧ガイド
メールアドレス:
製品の説明
製品寸法平面図
機械仕様 |
APL210-150 |
APL210-200 |
APL210-300 |
ストローク |
200 mm |
300 mm |
400 mm |
絶対位置決め精度 |
いいえ。350 nm |
いいえ。500 nm |
いいえ。650 nm |
繰り返し位置決め精度 (単方向) |
いいえ。200 nm |
いいえ。300 nm |
|
繰り返し位置決め精度 (双方向) |
いいえ。280 nm |
いいえ。400 nm |
|
解像度 |
0.1 nm |
||
直線度 |
± 0.35 um |
± 0.5 um |
± 0.7 um |
平面度 |
± 0.35 um |
± 0.5 um |
± 0.7 um |
振り子 |
± 3 arcsec |
± 5 arcsec |
± 7 arcsec |
ピッチ |
± 3 arcsec |
± 5 arcsec |
± 7 arcsec |
スクロール |
± 3 arcsec |
± 5 arcsec |
± 7 arcsec |
最大速度 |
500ミリメートル/秒 |
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最大加速 (無負荷) |
0.8g |
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最小ステップ量 |
1 nm |
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負荷能力 (レベル) |
250 kg |
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負荷能力(偏心) |
150 kg |
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一部移動重量 |
143 kg |
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プラットフォーム品質 |
450 kg |
590 kg |
750 kg |
材料 |
ニッケルメッキ合金 |
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平均寿命 |
15000h |
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備考:
- デフォルトのテストポイントの位置はテーブルの上の25mmで、一軸指標、多軸システムの性能指標は実際の荷重と作業ポイントの位置と関係がある
- より高い需要に対して、ハイドハンスケールとリニアアンプを搭載する必要がある
- 無負荷で、相応の電力の線形増幅器を配置する必要があります。
- ペイロード仕様は、ペイロードが軸を中心としていると仮定しています
- 規範の長期的な実現と再現性を確保するためには、環境温度を24時間ごとに1 ℃ の変化範囲に抑えなければならない。
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