MCT130XYシリーズ
MCT130XYシリーズは一体型の二軸設計のため、優れた平面性能と幾何特性を持っています。リニアモータで駆動し、剛性、耐クリープ性のクロスローラーガイドを備え、高解像度の位置フィードバック、現在最も滑らかで正確な運動。
製品の特徴:
高い応答速度
ナノレベルの位置決め精度
蠕動防止クロスローラーガイド
コンパクト構造、XY一体化設計
高いダイナミック性能 (カットオフ周波数が100hzを超える)
柔軟な設定オプション (XYカスタマイズ可能な範囲ストローク)
解像度1nm、繰り返し位置決め精度200nm、位置決め精度350nm
キーワード: 光学
分類:
一体型XY運動台
メールアドレス:
製品の説明
製品寸法平面図
機械仕様 |
MCT130XY-050-050 |
MCT130XY-100-100 |
MCT130XY-150-150 |
ストローク |
50mm x 50mm |
100mm x 100mm |
150mm x 150mm |
絶対位置決め精度 |
いいえ。350 nm |
± 400nm |
|
繰り返し位置決め精度 (単方向) |
いいえ。200 nm |
||
繰り返し位置決め精度 (双方向) |
いいえ。250 nm |
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解像度 |
1 nm |
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直線度 |
± 0.5 um |
± 0.7um |
± 1 um |
平面度 |
± 2 um |
± 2.5 um |
± 3 um |
振り子 |
± 10 arcsec |
± 12 arcsec |
± 15 arcsec |
ピッチ |
± 10 arcsec |
± 12 arcsec |
± 15 arcsec |
スクロール |
± 8 arcsec |
± 10 arcsec |
± 12 arcsec |
正交性 |
± 10 arcsec |
± 15 arcsec |
± 20 arcsec |
最大速度 |
200ミリメートル/秒 |
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最大加速 (無負荷) |
1g |
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ビット安定性 |
<10 nm |
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追従誤差 |
<10 nm |
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最小ステップ量 |
10 nm |
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負荷能力 (レベル) |
12kg |
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部分移動重量(上軸) |
0.6 kg |
1.1 kg |
1.5 kg |
部分移動重量(下軸) |
3.8 kg |
4.6 kg |
5.9 kg |
プラットフォーム品質 |
5.6 kg |
7.4 kg |
9.1 kg |
材料 |
黒色陽極メッキアルミニウム |
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平均寿命 |
30000h |
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備考:
- デフォルトのテストポイントの位置はテーブルの上の25mmで、一軸指標、多軸システムの性能指標は実際の荷重と作業ポイントの位置と関係がある
- より高い需要に対して、ハイドハンスケールとリニアアンプを搭載する必要がある
- 無負荷で、相応の電力の線形増幅器を配置する必要があります。
- ペイロード仕様は、ペイロードが軸を中心としていると仮定しています
- 規範の長期的な実現と再現性を確保するためには、環境温度を24時間ごとに1 ℃ の変化範囲に抑えなければならない。
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